Zappa, D., Borgoni, R., Radaelli, L., Tritto, V., Optimal reduction of a monitoring grid for SiO2 deposition surface over a wafer for semiconductor devices, in SIS2010 Proceedings, (Padova, 16-18 June 2010), SIS2010 Proceedings, Padova 2010: 1-10 [http://hdl.handle.net/10807/10763]
Optimal reduction of a monitoring grid for SiO2 deposition surface over a wafer for semiconductor devices
Zappa, Diego;Borgoni, Riccardo;
2010
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