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NOTA: è possibile cercare una corrispondenza esatta usando i doppi apici, ad es: "evoluzione della specie". Qualora si cerchi un identificativo, è consigliabile cercarlo in due modi differenti: tra apici con caratteri speciali es: "978-94-6366-274" oppure senza caratteri speciali solo come sequenza numerica: es 978946366274.
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Data di pubblicazione | Titolo | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
1-gen-2006 | WIPO (World Intellectual Property Organization) Method and system for facilitating the determination of the end-point in plasma etching process | Zappa, Diego; Fazio, Giuseppe; Colombo, Roberto |
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collection
- Brevetto 1
Data di pubblicazione
- 2006 1
Settore disciplinare
- Settore SECS-S/01 - STATISTICA 1
Accesso al fulltext
- no fulltext 1
Keyword
- Microelettronics 1
- Plasma etch process 1
- Quality control 1