Zappa, D., Fazio, G., Colombo, R., WIPO (World Intellectual Property Organization)Method and system for facilitating the determination of the end-point in plasma etching process, 2006, Brevetto no. 2006/106556 A1 [http://hdl.handle.net/10807/15462]
WIPO (World Intellectual Property Organization) Method and system for facilitating the determination of the end-point in plasma etching process
Zappa, Diego;Colombo, Roberto
2006
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